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黄光制程从入门到精通 | 100问
- 科普
admin

2018-04-03

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利用光线透过光罩照射在感光材料上，再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留，如此所形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补。由于微影制程的环境是采用黄光照明而非一…

光刻曝光机黄光制铜

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