11月19日,盛美上海宣布交付首台来自全球头部显示屏生产商的先进光刻胶固化设备Ultra Lith BK(Baker)订单。

据介绍,该设备专为解决先进光刻工艺中均匀性不足、温度漂移及临界尺寸变异等难题而设计,助力制造商在器件尺寸持续微缩的趋势下,维持稳定的良率与图形保真度。该设备可实现高度稳定且可重复的光刻工艺。
据称,Ultra Lith BK的交付标志着盛美上海的重要里程碑——这是盛美上海在完成前期演示验证后,首台实现客户端部署的Track系列设备。此举也意味着我们正式进入对设备性能与稳定性要求更高、具备大规模量产能力的显示屏生产商新客户领域。
Ultra Lith BK集高均匀性、可配置架构与灵活曝光模式于一体,能帮助客户显著抑制工艺变异,并为未来技术节点的量产扩张奠定基础。
Ultra Lith BK的紫外固化系统可实现±5%的紫外光强度均匀性,确保光刻胶在整片晶圆上均匀硬化。该设备支持线扫描、旋转及混合曝光模式,赋予工艺最大灵活性。其先进的热管理技术进一步降低了临界尺寸变异、套刻误差与图形畸变,显著提升良率与可靠性。
盛美上海主要从事对集成电路制造与先进晶圆级封装制造行业至关重要的单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备和前道涂胶显影设备和等离子体增强化学气相沉积设备等的研发、制造和销售,并致力于为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案,有效提升客户多个步骤的生产效率、产品良率,并降低生产成本。
盛美上海(688082)2025年三季报显示,前三季度公司主营收入51.46亿元,同比上升29.42%;归母净利润12.66亿元,同比上升66.99%;扣非净利润11.07亿元,同比上升49.48%;其中2025年第三季度,公司单季度主营收入18.81亿元,同比上升19.61%;单季度归母净利润5.7亿元,同比上升81.04%;单季度扣非净利润4.33亿元,同比上升41.41%;负债率27.08%,投资收益3198.76万元,财务费用-351.64万元,毛利率49.54%。
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