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55亿韩元 LGD采购一批用于OLED量产线的高真空除电设备

文涛 2023-10-24 0
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泽斯腾24日表示,与LG Display签订了55亿韩元规模的收率改善剂全设备供应合同。

这一批的高真空Ionizer系统(VIS)是消除OLED制造工艺中发光用油、无机材料高热沉积时产生的静电,提高产品可靠性的设备。

该系统的VIS是在高真空环境中只生成离子,可以最大限度无损除电晶片或玻璃的有机、无机物沉积表面的设备。公司解释说,从2022年开始,通过与LG Display的合作,对VIS设备进行了量产性验证,并向OLED面板制造量产线供应设备。

泽系统技术研究所副社长河正民表示:“继半导体之后,很高兴在显示器领域也能提供提高收率的解决方案。在高分辨率OLED制造工程中,除电技术变得更加重要,泽系统的技术能力将得到高度评价。”

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