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南大光电拟募资6.35亿元投建ArF光刻胶、扩建三氟化氮等项目

Judy 2020-11-09 0
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11月7日南大光电发布公告披露向特定对象发行股票预案。本次发行对象为不超过35名符合证监会规定的特定对象,募集资金总额不超过63,500.00万元,扣除发行费用后的净额将用于光刻胶项目、扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目、补充流动资金。

 

南大光电

 

一、光刻胶项目

 

本项目拟投资 66,000.00 万元,进行 ArF 光刻胶产品开发和产业化工作。项目目标到 2021 年底,将在我国:1)首次建立 ArF 光刻胶产品大规模生产线,形成年产 25 吨 ArF(干式和浸没式)光刻胶产品的生产能力,产品性能满足 90nm-14nm 集成电路制造的要求。产品通过 IC 芯片制造企业的使用认证,实现批量销售;2)建立国内第一个专业用于 ArF 光刻胶产品开发的检测评估平台。江苏南大光电材料股份有限公司 2020 年度向特定对象发行股票预案 21 平台配备 ArF 光刻机、涂胶显影一体机、特征尺寸扫描电镜、缺陷检测和分析等检测设备,满足先进光刻胶产品和技术开发的需求;3)建立一支具有国际水平的先进光刻胶产品开发和产业化队伍。

 

本项目的实施单位为子公司宁波南大光电材料有限公司,建设内容包括“先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化”和“ArF光刻胶产品的开发和产业化”。

 

1、先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化

 

建设内容为建立光刻胶配套高纯显影液的规模化生产线,包括合成、纯化、 分析、灌装等工艺的配套生产装置及分析检测设备;另外还将建设国内首个先进光刻胶分析测试中心,包含浸没式光刻机、涂胶显影一体机和 CD-SEM 等关键量测设备。

 

项目完全达产后,将建成光刻胶研发中心、先进光刻胶的分析测试中心,以及年产 350 吨的高纯显影液的生产线。

 

2、ArF 光刻胶产品的开发和产业化

 

建设内容为建立包含高等级超净间在内的 ArF 光刻胶生产线,具备 ArF 光刻胶产品的生产能力;建立 ArF 光刻胶配套关键组分材料的生产能力,完善光刻胶原材料的供应。

 

项目完全达产后,将建成年产 5 吨 ArF 干式光刻胶的生产线、年产 20 吨 ArF 浸没式光刻胶的生产线以及年产 45 吨的光刻胶配套高纯试剂的生产线。

 

二、扩建 2000 吨/年三氟化氮生产装置项目

 

本项目拟投资 30,000.00 万元,扩建 2000 吨/年三氟化氮生产装置项目,包括:5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。

 

公司主要从事 MO 源产品业务、高纯电子特气产品业务、光刻胶及配套材料业务、ALD 前驱体产品业务。报告期内,公司主要收入来源为 MO 源和电子特气产品,其中电子特气业务已成为公司强劲的利润增长点,公司原有的电子特气产品主要为高纯磷烷、砷烷,亟需拓展业务板块,巩固在电子特气业务的行业领先地位。

 

公司通过本次募投项目的实施,将扩大三氟化氮气体产能,从而深化含氟电子特气领域投资布局,增强对公司集成电路客户的服务能力,扩大公司产品的市场份额,参与含氟电子特气全球竞争,保持公司在电子特气领域的领先地位和市场竞争力。

 

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